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產(chǎn)品中心
小型真空等離子(實(shí)驗(yàn)室真空等離子)
  • 產(chǎn)品分類:真空等離子
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  • 周小姐 18658398989

產(chǎn)品信息

產(chǎn)品參數(shù)

項(xiàng)目 規(guī)格
1 設(shè)備尺寸 530mm*538mm*674 mm(W*H*D)
2 電力需求 AC220V,50HZ
3 腔體尺寸 尺寸:210mm*210mm*220mm(W*H*D),9L 材質(zhì):鋁合金
4 電極形式 內(nèi)置平板式電極,尺寸:180*185mm;
5 托盤載物 單層載物面積:150*170mm,共 2 層
6 真空泵 油泵,抽速:3L/S,極限真空:1Pa
7 等離子發(fā)生源 高頻 40kHZ,500w 連續(xù)可調(diào)
8 進(jìn)氣系統(tǒng) 共 2 路進(jìn)氣;0-500sccm 質(zhì)量流量控制器
9 控制系統(tǒng) PLC+觸摸屏
10 真空測量系統(tǒng) 日本愛發(fā)科皮拉尼真空計(jì)
11 處理時(shí)間 0-15min
12 工作真空度 5-80Pa
13 可使用氣體 Ar、O2、N2、Ar+ H2、空氣等
14 權(quán)限設(shè)置 兩級權(quán)限

 

設(shè)備外形及尺寸參考圖

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